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キヤノンがFPD露光装置向けLED照明オプション発売。生産性向上と脱水銀を両立

キヤノンはFPD露光装置「MPAsp-H1003H」向けに、水銀ランプに代わるLED照明オプションを発売。照度向上によるタクトタイム短縮と、消費電力・水銀廃棄量の削減を実現します。