この記事の要点: 株式会社JASPは、韓国のディープテック企業MNTek社が開発した、半導体製造のプラズマエッチング工程向けワイヤレス温度センサーウェハの日本市場での展開を開始しました。本製品は、高周波プラズマが発生する過酷なチャンバー内部の温度分布をリアルタイムかつ高精度に測定できるデバイスです。従来の有線測定に比べ作業効率を大幅に向上させ、半導体製造における品質安定化や歩留まり改善を支援します。
発表内容のポイント
- 300mmウェハと同等形状で、通常レシピのままロボット搬送と測定が可能
- 最大7kWの高出力RFプラズマ環境に対応し、標準で65個のセンサーを配置
- 測定データはワイヤレスで取得でき、顧客の用途に合わせたカスタム設計に対応
発表の背景
半導体デバイスの高性能化・高集積化に伴い、製造プロセスにはナノレベルの加工精度が求められています。特にプラズマエッチング工程における温度管理は品質や歩留まりを左右する重要項目ですが、高周波プラズマが発生する特殊環境下でウェハ表面の温度分布をリアルタイムに測定することは困難でした。温度のわずかな差異が加工精度に影響するため、定量的な測定手法が求められていました。
何が発表されたのか
展開される温度センサーウェハは、厚さ1.4mm以下の薄型構造に温度センサー、電子回路、バッテリーを内蔵し、上部をシリコンカバーで覆っています。これにより、装置設定を変更せずに通常の製造ウェハと同様に搬送して測定が可能です。独自のRFシールド技術により、高出力なデュアルソースRFプラズマ環境でも安定して測定できます。取得データは専用ソフトを介してワイヤレスで回収し、チャンバー間の温度差解析や静電チャックの評価、予防保全後の立ち上げ確認に活用されます。
製造業・生産管理への見方
半導体製造現場において、エッチング装置のチャンバーごとの個体差や経時変化による品質のばらつきは、歩留まり低下に直結する重大な課題です。本製品の導入により、実際の製造環境に近い状態でウェハ全面の温度分布を高解像度で可視化できるようになります。これにより、プロセス条件の最適化や設備稼働率の向上が期待できます。また、センサー数や測定温度範囲、RF耐性などを個別にカスタム設計できる柔軟性は、プロセス開発や装置メンテナンスの現場において実用的なメリットとなります。
現場で確認したいポイント
- 自社のプラズマエッチング装置の温度範囲やRF出力仕様に適合するか
- 既存の搬送ロボットやチャンバーのハンドリング機構で1.4mm以下のウェハが問題なく動作するか
- 測定データの解析ソフトと自社の生産管理・品質管理システムとの連携方法
確認しておきたい点
本製品は顧客ごとの要求仕様に応じたカスタム開発を前提としており、標準仕様から変更する場合の納期や開発コスト、および製品寿命（バッテリー交換や校正の頻度）については、個別に対象メーカーへ確認する必要があります。
関連リンク
- 発表企業サイト：株式会社JASPの公式ウェブサイトです。
- 発表企業のPR TIMESページ
出典情報
| 出典 | PR TIMES |
|---|---|
| 発表企業 | 株式会社JASP |
| 発表日時 | 2026-08-12 16:27:40 |
| 元記事 | PR TIMESで読む |
