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Vistec、電子ビーム描画技術の最新動向を発表。東大へのシステム導入も

Vistec Electron BeamがEMLC 2026で最新の電子ビーム描画技術を発表。独自の可変成形ビーム方式により、多品種少量生産における描画時間の短縮とコスト効率向上を実現します。