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半導体エッチング工程向け温度センサーウェハ、JASPが日本市場で展開開始

JASPは、韓国MNTek社が開発した半導体製造のプラズマエッチング工程向けワイヤレス温度センサーウェハの日本展開を開始。高精度な温度可視化により歩留まり向上に貢献します。