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Q値800万の超高性能MEMSジャイロ、量産化への道筋を示す新製造技術

あらゆる移動体の自律化に不可欠な慣性センサー。その中核をなすジャイロスコープにおいて、性能と量産性を両立する画期的な製造技術が報告されました。本稿では、この技術が日本の製造業に与える影響について、生産技術の視点から解説します。はじめに：高性...