この記事の要点: 株式会社小野測器は、2026年10月5日に「TEDS対応高感度小型3軸加速度センサー NP-3580N10」を発売しました。本製品は、半導体製造装置や精密加工機などの内部で発生する、製品品質に影響を与える微小な振動を捉えるために開発されたものです。高感度でありながら小型・軽量設計を実現しており、装置内の限られたスペースへ直接取り付けて高精度な振動計測を行うことができます。
発表内容のポイント
- 感度100 mV/(m/s²)と低ノイズ設計により、従来の汎用センサーでは埋もれていた微小振動を検出
- 19.5 mm角、質量25 g未満の小型・軽量設計で、製造装置内部の狭いフレームにも設置可能
- TEDS規格に対応し、計測機器接続時にセンサー情報を自動読み込みして設定ミスを防止
発表の背景
半導体製造装置や精密加工機ではナノメートルレベルの微細化が進んでおり、加工精度を維持するためにわずかな振動の管理が重要視されています。しかし、従来の汎用センサーでは微小な振動がセンサー自体のノイズに埋もれてしまう課題がありました。また、実際に計測したい装置内部の加工部付近はスペースが限られており、高感度と小型・軽量化を同時に満たすセンサーが求められていました。
何が発表されたのか
新発売の「NP-3580N10」は、感度100 mV/(m/s²)、センサーノイズ400 μm/s² rms以下という高い測定性能を備えています。これにより、従来の感度10 mV/(m/s²)クラスでは測定が難しかった微細な揺れを捉えることが可能です。さらに、19.5 mm角・質量25 g未満に抑えられているため、大型装置の内部や狭いフレーム部にも容易に設置できます。また、センサー仕様を自動認識するTEDSに対応しており、現場での設定作業の省力化や入力ミス防止に寄与します。
製造業・生産管理への見方
精密加工や半導体製造の現場において、振動は歩留まりや加工品質を左右する極めて重要な要素です。本センサーの導入により、露光装置や精密加工機の設計・開発段階における振動評価だけでなく、稼働中の設備保全や状態監視の精度向上が期待できます。さらに、三次元測定機や顕微鏡、除振台の微小振動計測、床から装置への振動伝達特性の把握、外乱要因の特定など、工場の環境測定やトラブルシューティングにも幅広く活用できる性能を有しています。
現場で確認したいポイント
- 自社の精密加工装置や測定機器の設置スペースに、19.5 mm角のセンサーが干渉せず取り付けられるか
- 現在使用している計測器が、設定省力化につながるTEDS（自動読み込み機能）に対応しているか
- 対象設備で発生している微小振動の周波数帯や挙動が、本センサーの測定範囲に適しているか
確認しておきたい点
本製品の具体的な周波数範囲や耐環境性能（温度・湿度・防塵防水規格など）の詳細仕様については、公式の製品カタログやメーカーへの問い合わせによる確認が必要です。
出典情報
| 出典 | PR TIMES |
|---|---|
| 発表企業 | 株式会社小野測器 |
| 発表日時 | 2026-10-05 15:00:01 |
| 元記事 | PR TIMESで読む |
