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ADEKA、先端半導体レジスト用光酸発生剤の生産能力を2倍に増強へ

ADEKAは、EUVなど先端半導体リソグラフィ工程で使われるレジスト用光酸発生剤の生産設備を千葉工場に増設。投資額は約10億円で、生産能力を従来比約2倍に引き上げます。