ニュース

三菱ケミカル、最先端半導体向け超高純度コロイダルシリカの生産設備を新設へ

三菱ケミカルは、最先端半導体向け研磨剤の原料となる超高純度コロイダルシリカの事業化を決定。九州事業所に生産設備を新設します。

生産現場のシステムNAVI編集部
三菱ケミカル、最先端半導体向け超高純度コロイダルシリカの生産設備を新設へ

この記事の要点: 三菱ケミカル株式会社は、最先端半導体向け研磨剤の原料として使用される「超高純度コロイダルシリカ」の事業化を決定したと発表しました。同社は九州事業所・福岡地区(福岡県北九州市)に新たな生産設備を建設し、2028年10月に営業運転を開始する予定です。生成AIやデータセンター向けに需要が高まる最先端半導体の製造プロセスを支える材料として、安定供給体制の構築を目指します。

発表内容のポイント

  • 九州事業所・福岡地区に生産設備を新設し、2028年10月に営業運転を開始予定
  • 超高純度原料からの一貫生産により、不純物の含有を極限まで抑制
  • 顧客ニーズに合わせてコロイダルシリカの粒子サイズや密度をカスタマイズ可能

発表の背景

生成AIやデータセンターの普及に伴い、最先端半導体市場は今後もさらなる成長が見込まれています。半導体製造の高度化が進むなか、シリコンウエハ配線層の化学的機械研磨(CMP)工程では、ナノレベルでの平坦化や不純物の排除、スクラッチの抑制といった極めて高い品質要求が課されています。同社はこうした市場の高度な要求に応えるため、独自の技術力を活かした新材料の事業化に踏み切りました。

何が発表されたのか

今回事業化される超高純度コロイダルシリカは、シリコンウエハの研磨スラリーや、配線層のCMPスラリーの原料として用いられます。三菱ケミカルは、超高純度な原料であるテトラメトキシシランから一貫生産を行うことで、製品への不純物混入を徹底的に抑制します。さらに、研磨対象の物質や顧客の個別ニーズに応じて、粒子の形状、サイズ、密度などの物性を最適にカスタマイズできる技術的な強みを備えている点が特徴です。

製造業・生産管理への見方

半導体製造の歩留まり向上において、ウエハ表面を極限まで平坦化するCMP工程の重要性は年々高まっています。本事業化は、最先端半導体向け材料の国内サプライチェーンを強化する動きとして、半導体製造や関連部材の生産管理に携わる関係者にとって注目すべき動向です。特に、原料からの一貫生産体制が国内に構築されることは、品質の安定化だけでなく、地政学的リスクを考慮した調達の安定化にも寄与すると期待されます。

現場で確認したいポイント

  • 2028年10月の営業運転開始に向けた、生産設備の建設進捗状況
  • 自社の半導体製造プロセスや研磨工程における、カスタマイズ要求への対応可否
  • 一貫生産体制による品質保証体制や、不純物管理の具体的なスペック

確認しておきたい点

本リリースには、新設される生産設備の具体的な生産能力(キャパシティ)や投資規模についての数値は記載されていません。

関連リンク

出典情報

出典 PR TIMES
発表企業 三菱ケミカル株式会社
発表日時 2026-08-19 13:40:01
元記事 PR TIMESで読む

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 が付いている欄は必須項目です